摘要：电子产品小型化、微型化、集成化成为当今技术发展的大趋势，从而需要电池的微型化。微电池在未来便携式电子设备、国防装备及微电子机械系统（MEMS）等方面有着广泛的应用前景，受到人们的重视。文章介绍了全固态薄膜锂电池的原理和结构，以及阴极薄膜的制备技术，展望了全固态薄膜锂电池的应用前景。

关键词：微电池 全固态薄膜锂电池 阴极薄膜 溅射法 脉冲激光沉积法 

单位：中国民航飞行学院航空工程学院电子教研室; 四川广汉618307