首页 > 期刊 > 安徽电子信息职业技术学院学报 > 可控氮气快速降温装置 【正文】
摘要：可控氮气快速降温装置（简称降温装置或装置）是为配合高能激光试验而研制的专用配套设备。本文主要介绍了降温装置气路结构设计的技术关键点以及硬件与软件设计的特点。
关键词：降温装置 高能激光晶片 并行组合气路 传感器 电磁阀
单位：安徽电子科学研究所 安徽合肥230088
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