首页 > 期刊 > 表面技术 > 用于截头圆锥形溅射靶的高靶利用率磁性装置 【正文】
摘要：
关键词：截头圆锥形溅射靶 靶利用率 磁性装置 磁控管溅射涂敷系统 东京电子株式会社
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