摘要：为提高TAl表面的耐磨性能，在TAl表面采用化学气相沉积(CVD)表面处理。用X射线衍射的方法测定了改性层的物相。使用显微硬度计测定了改性层和基体的硬度，在往复式滑动磨损试验机上进行磨损试验，通过扫描电子显被镜分析磨痕形貌。结果表明，TAl经过CVD处理，表面由α-Ti、Ti2N及TiN组成，显微硬度为989HV0．025。干摩擦条件下，经化学气相沉积处理的TAl材料的表面改性层的耐磨性得到了明显提高。

关键词：化学气相沉积 tal 表面改性 耐磨性 

单位：清华大学机械工程系，北京100084