首页 > 期刊 > 表面技术 > 专利名称：选择性镀膜装置 【正文】
摘要：一种选择性镀膜装置，由一真空腔室，一旋转支撑组件，复数个承盘，复数个基材整合体与蒸镀源所共同组成；旋转支撑组件包含马达和支撑架；基材整合体则包含具有孔洞及磁性的金属薄膜，
关键词：镀膜装置 专利名称 支撑架 金属薄膜 组件包
单位：台湾省新知科技股份有限公司
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