摘要：根据近年来国内外TiO2功能薄膜的研究现状,对化学气相沉积法、水解-沉淀法、液相沉积法、溶胶-凝胶法、溅射法、离子束辅助沉积法等化学和物理制备方法的研究进展进行了综述,并对其优缺点进行了比较和评述.

关键词：tio2薄膜 制备 研究进展 

单位：广东工业大学分析测试中心; 广东工业大学材料与能源学院; 广东; 广州; 510090; 华南师范大学物理与电信工程学院; 广东; 广州; 510631; 华南理工大学分析测试中心; 广东; 广州; 510640; 广东工业大学材料与能源学院; 广东; 广州; 510090