首页 > 期刊 > 表面技术 > 专利名称：多离子束共溅射淀积纳米膜装置 【正文】
摘要：本发明提供一种具有单离子束和双离子束以及多离子束溅射淀积，能产生单质、二组元、三组元、四组元成分，原位反应共溅射淀积纳米膜（含微米膜）的、
关键词：多离子束 纳米膜 共溅射 淀积 专利名称
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