首页 > 期刊 > 表面技术 > 专利名称：高反射镜连续磁控溅射镀膜生产设备 【正文】
摘要：本实用新型提供了一种高反射镜连续磁控溅射镀膜生产设备。包括依次连接的前锁定室，前等待室，过渡室。金属膜工作室，含氩气进口和氧气进口的介质膜工作室，
关键词：磁控溅射镀膜 生产设备 高反射镜 专利名称 实用新型
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