摘要：微等离子体增强电化学过程可以产生多种物理化学效应,利用其效应发展了各种新兴的现代表面技术.论述了微等离子体增强电化学的产生途径及其过程的物理化学效应、以及在表面技术方面的应用和研究现状;并展望了它在表面技术方面的应用前景.

关键词：微等离子体 电化学 表面技术 

单位：吉林化工学院; 吉林; 吉林; 132022; 北京科技大学; 北京; 100083; 吉林化工学院; 吉林; 吉林; 132022