摘要：本实用新型涉及采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置。该装置是在真空镀膜设备中设置至少一阳极和放有靶材的阴极，作为阳极的水冷电极上连接有活动接头，并与控制电源相连，该阳极与系统的循环水冷系统相连；电弧触发电极设置在阳极和阴极之间，电弧触发电极的引线穿出真空室外并与电弧触发控制电源连接。本实用新型克服了靶材掺入到薄膜中而降低膜品质的问题，结构简单、易于操作。

关键词：电弧加热 薄膜 靶材 装置 专利名称 

单位：中国科学院物理研究所