摘要：本实用新型公开了一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械泵，在支架的上部横置有沉积室，沉积室的两端设有封头，在沉积室内部对应设有长方形的上极板和下极板，沉积室上设有观察窗，沉积室的下部通过蝶阀和管道分别连接有罗茨泵和机械泵。

关键词：沉积装置 气相沉积 陶瓷薄膜 专利名称 多层 

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