摘要：为了得出多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺，利用正交试验法研究了制备多孔阳极氧化铝膜的影响因素：氧化时间、氧化电压和扩孔时间，分别讨论了各影响因素对阳极氧化铝膜的单独作用；通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射仪等观测了阳极氧化铝膜的形貌和结构特征，结果表明：氧化膜上的微孔分布均匀，孔径大小基本相同，平均孔径约为150nm，孔密度约为2．5×10^9个／cm^2；得出阳极氧化最佳制备工艺：温度20℃，反应时间120min，反应电压115V，扩孔时间6min。

关键词：阳极氧化铝 制备 扩孔 工艺参数 氧化膜 

单位：大连理工大学化工学院; 辽宁大连116012