摘要：一种用于电极的导电金刚石薄膜及其制备方法，主要适用电化学分析和检测时的电极。本发明的薄膜中含有硼为0．3％至0．5％，含碳量为99．5％至99．7％。采用微波增强化学气相沉积方法制备。制备过程中，选用硅作为基底，硅基底要经过喷砂、清洗以及置入金刚石粉与酒精混合液中用超声波作用等处理后放入沉积室内。选用氢气和甲烷的混合气体为碳源的反应气体。选用1％的硼酸三甲酯和99％的氢气的混合气体为掺硼气源。

关键词：金刚石薄膜 制备方法 电极 导电 化学气相沉积方法 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所