摘要：利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜，研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性。用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数，傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性；利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能；利用维氏硬度计表征薄膜的硬度。结果表明薄膜在光谱范围1．25～10μm内透明，光学常数随波长的变化而变化，具有高达40GPa曲维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等。

关键词：类金刚石薄膜 脉冲电弧 光学特性 机械特性 

单位：西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室; 陕西西安710032