摘要：为了研究钛膜表面阳极氧化层对吸附和解吸氢同位素特性的影响，需制备和表征钛膜表面阳极氧化层。设计了钛膜表面阳极氧化装置，确定了制备厚度不同的氧化层的阳极氧化工艺参数，其工艺简单、易操作；并对阳极氧化层进行了AES深度剖析和XPS化合价分析。其结果如下：在确定的工艺参数下，设计加工的阳极氧化装置能够制备出表面呈彩色的阳极氧化层，而且表面平整、光滑、均匀，与基体金属结合牢固；采用AES深度剖析确定了阳极氧化层的厚度，而且在其它条件相同时，获得阳极氧化层的厚度随着电压、H2SO4浓度和时间的增加而明显变厚的规律；采用XPS研究了阳极氧化层钛的主要价态为＋4、＋3和＋2价，氧化层主要组成为TiO2、Ti2O3和TiO。

关键词：钛膜 阳极氧化 制备 表征 

单位：中国工程物理研究院; 四川绵阳621900