摘要:一种在衬底上沉积薄膜的方法,包括用激光束烧蚀靶,以产生沿传播方向离开靶的表面延伸的蒸发物的烟柱。激光束聚焦在靶表面之前并在烟柱中的有限距离(d)处,由此为烟柱中赋予增加的能量。也可以高速旋转靶,以便赋予蒸发物预定的速度分量,该速度分量使以较低速移动的蒸发物偏离传播方向,并防止被沉积到衬底上。在金刚石膜的形成中该方法很有用,并且已经应用在微芯片制造、可视显示单元、太阳能转移、光学、光电技术、保护表面、医学应用以及切割和钻孔应用等领域。
关键词:沉积薄膜 激光烧蚀 激光束聚焦 医学应用 传播方向
单位:澳大利亚AGT第一股份有限公司
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