摘要：蘸水笔技术（Dip-Pen）是近年来发展起来的一种新的扫描探针刻蚀加工技术,有着广泛的应用前景。该技术是直接把弯曲形水层作为媒介来转移＂墨汁＂分子,在样品表面形成纳米结构。尖端曲率半径、针尖在基底表面滞留时间、针尖扫描速度、空气湿度、表面粗糙度等均会影响纳米结构的线宽。针尖在基底表面滞留时间与圆半径的平方成一次函数关系,线宽随着尖端半径的增大而变宽,扫描速度与线宽成反比关系。通过控制湿度可以控制＂墨水＂分子的转移速度,从而影响纳米结构的线宽。线宽随着样品表面粗糙度增加而变宽。

关键词：蘸水笔 原子力显微镜 纳米结构 刻蚀 

单位：浙江师范大学初阳学院; 浙江金华321019