摘要：为了了解直流等离子喷射CVD自支撑金刚石膜高温氧化机理,利用热失重的方法研究了金刚石膜在不同温度、不同氧浓度条件下的氧化反应。结果表明：CVD金刚石膜氧化反应中的反应指数大约为0.63,氧化反应的激活能为220kJ/mol。通过X-Ray和Ram an分析可知,CVD金刚石膜的氧化经历3个过程：1）金刚石膜表面氢的解吸和氧的吸附;2）金刚石与氧发生化学反应;3）金刚石氧化产物（CO、CO2）的解吸。

关键词：cvd金刚石膜 高温氧化 氧化动力学 

单位：北京市电加工研究所; 北京100083; 北京科技大学材料科学与工程学院; 北京100083