摘要：采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的Cr1-xAlxN涂层，通过能谱仪（EDS）测试涂层的成分，x射线衍射仪（XRD）表征涂层的微结构，扫描电镜（SEM）观察涂层的表面形貌，研究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响。结果表明，涂层取CrN的面心立方结构生长，且呈（111）择优取向。随着Al含量增加，涂层的晶格常数减小，涂层的高温抗氧化性能显著提高。Cr0．6356Al0.3644N涂层随着氧化温度的升高，表面的Al含量略为上升，在900℃涂层产生裂纹失效。

关键词：磁控溅射 微结构 抗氧化 

单位：江苏科技大学材料科学与工程学院; 江苏镇江212003