摘要:内表面低粗糙度金刚石复合涂层细长管制备方法。该方法采用电子增强热丝化学气相沉积(CVD)法对钨棒料基体进行金刚石复合涂层制备,通过腐蚀去除钨棒料基体获得自支撑金刚石细管,并采用比自支撑金刚石细管略大的钢管或铝管作为细长管的外壳,套在自支撑金刚石细管外,在自支撑金刚石细管与外壳之间由改性的环氧树脂粘结剂填充,由此形成内表面由低粗糙度金刚石复合涂层组成的细长管。
关键词:复合涂层 低粗糙度 制备方法 金刚石 细长管
单位:上海交通大学
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