摘要：为进一步研究多孔氧化铝膜的结构和性能，采用电化学综合分析仪测量并分析不同工艺条件下所制备的阳极氧化铝膜的电化学交流阻抗EIS图谱，建立了不同工艺条件下制备的阳极氧化铝膜的等效电路模型。结果表明：在草酸、磷酸电解液中形成的阳极氧化铝膜是多孔双层膜。在硫酸电解液中形成的直流阳极氧化铝膜的等效电路中无多孔层信息。采用直流、交流和脉冲不同电源方式，在不同电解液中制备的氧化铝膜的EIS阻抗谱各不相同，所模拟的等效电路也有所不同。

关键词：阳极氧化铝膜 eis 等效电路 

单位：西安建筑科技大学材料科学与工程学院; 陕西西安710055; 西安电子科技大学理学院; 陕西西安710071