摘要:一种镀膜设备,包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中,动力单元具有一旋转轴心;传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮,且第一齿轮轴设于旋转轴心,第二齿轮与第一齿轮相啮合,第二齿轮的中央具有一第一开口;监控机构具有至少两个测试组件;基板承栽机构连设于第二齿轮且具有一第二开口,第二开口与第一开口相对而设,监控机构穿设于第一开口及第二开口中;镀膜源与基板承载机构及测试组件相对而设。
关键词:镀膜设备 传动机构 动力单元 承载机构 测试组件
单位:台湾省精碟科技股份有限公司
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
相关期刊
表面技术