摘要：使用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术，通过改变偏压在镁合金表面制备了CrAlTiN镀层，对镀层厚度、硬度、结合力和耐磨性进行了检测，使用SEM和XRD分析了镀层的形貌和相组成，结果表明：通过改变偏压可以在镁合金表面沉积一层具有一定耐磨性能的CrAlTiN镀层；偏压对镁基CrAlTiN镀层的结合力和耐磨性影响很大，在偏压为35V时具有最好的结合力和耐磨性能，随着偏压的增大，镀层硬度提高，致密性增强，厚度降低；镁基CrAlTiN镀层为枉状晶组织，具有面心立方结构，点阵类型与面心立方CrN相同。

关键词：镁合金 磁控溅射 偏压 craltin镀层 

单位：西安理工大学材料科学与工程学院 陕西西安710048