摘要：一种等离子体装置，包括将通过馈电部供给的高频电磁场（F）供给到处理容器内的缝隙天线，所述馈电部具有谐振腔，所述谐振腔构成谐振器，同时将馈电的高频电磁场（F）变换成旋转电磁场并供给所述缝隙天线。

关键词：等离子体装置 生成方法 高频电磁场 缝隙天线 谐振腔 

单位：日本东京毅力科创株式会社