摘要：热处理装置的洗净处理包括将反应室内加热到300℃的加热工序和去除附着在热处理装置内部的氮化硅的洗净工序。在洗净工序中，将含有氟气和氯气及氮气的清洗气体供给加热到300℃反应管内，去除氮化硅而洗净热处理装置的内部。

关键词：热处理装置 洗净 膜形成 内加热 氮化硅 

单位：日本东京毅力科创株式会社