摘要：本发明的电弧蒸发装置包括一个阳极、一个起阴极作用的靶、一个连接在该阳极和阳极上的用来在靶表面产生电弧斑点的电压源，以及一个设置在靶下面的包括内、外环形线圈的磁性装置，用来产生一个影响靶表面上电弧运动的磁场。为了电弧在规定的轨道上可在靶表面的大部分区域运动，建议磁性装置的至少一个环形线圈配置一个在靶表面的区域内影响该环形线圈磁场的高相对磁导率（μ，〉〉1）的元件。

关键词：电弧运动 蒸发装置 环形线圈 磁性装置 相对磁导率 

单位：瑞士-普拉斯股份有限公司