摘要：采用电弧离子镀技术在不锈钢基体表面制备了CrNx薄膜，并采用场发射扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、球一盘式摩擦磨损试验机等手段对在不同偏压下沉积的CrNx，薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和摩擦学性能进行考察。结果表明：随着偏压的增加，CrNx薄膜沉积率下降，厚度降低，CrNx薄膜表面颗粒逐渐变少，表面粗糙度降低，结晶度增大，晶粒尺寸增加；CrNx薄膜由Cr2N相和CrN相组成，薄膜的择优取向发生较大变化。当偏压为-100V时，CrNx薄膜的表面结构最致密，硬度最高，抗磨损性能最强。

关键词：crnx薄膜 表面形貌 相结构 显微硬度 耐磨性 

单位：西南大学材料科学与工程学院 重庆400715