摘要：为了提高不锈钢的阻氢性能，利用PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术在不锈钢表面上制备了Al薄膜，经真空热氧化处理（480℃）获得了Al-Al2O3，复合薄膜。用表面分析手段SEM、XRD、EDS和XPS对所制备涂层的表面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析，并对其进行了阻氘性能研究。结果表明：该技术能够获得均匀、致密复合薄膜；在低于350℃时，阻氘效果非常好，几乎没有渗透，在350℃到450℃之间，阻氘因子能够达到250左右，但在高于450℃后，渗透非常明显。

关键词：pecvd 复合薄膜 阻氘因子 

单位：表面物理与化学国家重点实验室 四川绵阳621700