摘要：用真空蒸镀法在玻璃基片上制备TiO2薄膜，分别在300、400、500、600℃下退火。用紫外-可见吸收光谱、X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、接触角测定等分析方法研究蒸镀时间、退火温度和退火时间对薄膜亲水性的影响，找出真空蒸镀法制备亲水性TiO2薄膜的最佳工艺条件。结果表明：经紫外光照射1h后，所有TiO2薄膜都能被水润湿，在蒸镀时间为45s，退火温度为500℃，退火时间为2h备件下制得的薄膜样品亲水性能最佳。

关键词：tio2薄膜 真空蒸镀 退火 玻璃 亲水性 

单位：浙江理工大学 浙江杭州310018 兰州交通大学光电子技术和智能控制重点实验室 甘肃兰州730070