摘要：应用射频磁控溅射技术在普通载玻片上镀制一层均匀的Ti—O薄膜，采用红外光谱仪对其进行红外吸收光谱分析，采用紫外光-可见光分光光度计测量其吸光度，得到了在不同0含量条件下制备的Ti—O薄膜对紫外光-可见光的吸收情况，并进行了比较。实验结果表明：随着O含量的逐渐减少，Ti—O薄膜的结构从TiO2逐渐转变为多种Ti—O结构共存，并且其吸收峰出现红移现象。

关键词：射频磁控溅射 禁带宽度 红移 

单位：中南民族大学 武汉430074