摘要：采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术,在聚碳酸酯（PC）树脂片上沉积类金刚石（DLC）薄膜,以获得耐磨性和透光性良好的光学镜片。研究了薄膜的沉积工艺对PC基体镀DLC薄膜耐磨性和透光性的影响。结果表明：PC树脂片上沉积DLC薄膜后,耐磨性有极大的提高,摩擦系数降低了70%左右,显微硬度增加了约30%且随着沉积时间增加而增加,但透光率由约90%降至80%～70%。薄膜样品的耐磨性和透光性与样品的粗糙度、形貌及组成有关。

关键词：pc树脂 dlc薄膜 pecvd 耐磨性 透光性 

单位：北京大学前沿交叉学科研究院 北京100871