首页 > 期刊 > 表面技术 > 磁控溅射铬镀层的微观组织结构研究 【正文】
摘要:采用磁控溅射技术制备了铬镀层,利用X射线衍射仪研究了铬镀层的物相和择优生长取向,并结合扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察、分析了铬镀层的微观组织结构。研究结果表明:磁控溅射铬镀层呈多晶态结构,以Cr(110)晶面为择优生长面;铬镀层截面呈柱状生长特性,在沉积的最初阶段即形核晶化,随着沉积时间的延长,晶化程度逐渐提高。
关键词:磁控溅射 铬镀层 微观形貌
单位:宁夏职业技术学院 银川750002
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