摘要：双槽电沉积法制备了不同调制波长的Cu／Ag金属多层膜（Cu膜和Ag膜等厚），用扫描电子显微镜观察了多层膜的层状结构，并研究了不同调制波长下多层膜的显微硬度变化。结果表明：双槽电沉积法制备的Cu／Ag多层膜层状结构明显。当调制波长大于100nm时，显微硬度随调制波长减小而增加；当小于100nm时，硬度随调制波长减小而降低；调制波长为100nm时，显微硬度取得最大值，为150HV。

关键词：双槽电沉积法 显微组织 显微硬度 

单位：河南科技大学材料科学与工程学院 洛阳471003 河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室 洛阳471003