摘要：选用O2作为清洗气体，采用等离子清洗法替代有机溶剂清洗法清洗多层陶瓷外壳，以去除表面的颗粒及有机污染物，研究了清洗过程中功率和时间对Ag72Cu28焊料的影响。结果表明：选用O2作为清洗气体的等离子清洗对Ag72Cu28焊料的影响显著；最佳工艺条件为功率110w、处理时间200s。采用最佳工艺对样品进行等离子清洗后再电镀，镀层与基体的结合良好。

关键词：等离子清洗 多层陶瓷外壳 ag72cu28焊料 镀层质量 结合力 

单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 南京210016