摘要：采用一种新型的成膜技术——气相沉积聚合（VDP）法，利用热蒸发VDP沉积装置，以均苯四甲酸二酐和4，4-二氨基二苯醚为单体原料，通过控制加热温度、沉积速率和沉积时间，在玻璃衬底上沉积并合成聚酰胺酸（PAA）薄膜，再进行热亚胺化，就得到了成膜性能较好的PI薄膜。采用FTIR，TG，UV，AFM和接触角测试等分析手段对样品的性能进行了分析和探讨。结果表明：VDP法制备的PI薄膜具有高热稳定性、易透光性、低表面粗糙度和低表面能等优点，说明用该方法制备性能优异的PI薄膜是可行的。

关键词：薄膜 聚酰亚胺 聚酰胺酸 气相沉积聚合 

单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心 绵阳621900 四川大学 成都610065