摘要：采用射频磁控溅射技术制备Sb2O3／CeO2共掺杂ZnO薄膜，研究了薄膜的结构及紫外光吸收性能。结果表明：Sb2O3和CeO2共同掺入ZnO薄膜后，ZnO（002）晶面的XRD衍射峰强度明显下降，ZnO薄膜呈混晶方式生长；共掺杂ZnO薄膜的紫外吸收性能明显优于纯ZnO薄膜，sb对掺杂ZnO薄膜的结构和紫外吸收性能的影响起主导作用，Ce起进一步的强化作用。

关键词：磁控溅射 zno薄膜 掺杂 结构 紫外吸收 

单位：徐州空军学院 徐州221000