摘要：采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜，应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型器件。在幅值渐增的三角波电压作用下，器件在电压幅值低于17V时，伏安特性呈明显的线性特性，对应的薄膜表面没有变化；进一步升高器件电压幅值，伏安特性呈明显的负阻特性，同时可以观测到表面电子发射，表面电子发射最大达到7．2μA，发射效率达到了0．0943％，薄膜表面失色，产生明显的孔洞结构。根据F—N理论拟合器件电压和发射电流，所得Ie-Vf特性曲线呈直线，表明发射电子源于场致电子发射。

关键词：碳钛颗粒膜 表面传导电子发射 伏安特性 场致发射 

单位：西安工业大学光电学院 西安710032