摘要：采用氧气等离子体对聚酰亚胺薄膜进行表面处理，系统研究了等离子体处理时间、压强和功率对处理效果的影响，并对比了空气、氮气、氧气和氩气几种处理气氛的处理效果，得出了最佳处理条件。分析表明：聚酰亚胺薄膜经氧气等离子体处理后，表面引入了含氧极性基团，有明显的刻蚀现象，使得其亲水性增强，与铜箔复合的剥离强度提高。

关键词：氧气 等离子体处理 聚酰亚胺薄膜 润湿性 剥离强度 

单位：重庆发始特化工有限公司 重庆408000 东华大学化学化工与生物工程学院 上海201620