摘要：超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法，分析了制备技术和性能表征方法的优缺点，指出了超硬薄膜研究发展的方向。

关键词：超硬薄膜 制备技术 性能表征 

单位：济宁技师学院 济宁272013