摘要：采用直流磁控溅射法，在玻璃基板上制备了用于显示器视窗保护玻璃的半透明镍膜，测定了不同溅射条件下所得镍膜的表面粗糙度、透过率及厚度，讨论了溅射气压、溅射功率、行车速度等对薄膜性能的影响。结果表明，薄膜的表面粗糙度随溅射功率的增加而增大，控制溅射气压、溅射功率和行车速度为一定值，可以得到透过率为50％的半透镍膜。

关键词：磁控溅射 半透镍膜 液晶显示 真空镀膜 

单位：河北工程大学土木工程学院 邯郸056038