摘要：采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响。结果表明：薄膜与铝基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率。

关键词：tinxoy薄膜 太阳能 光谱性能 粘附性 基底多孔结构 

单位：江苏大学微纳米研究中心 镇江212013 苏技术师范学院机械与汽车学院 常州213001 常州大学低维材料微纳器件与系统中心 常州213164