摘要：以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属钛,再以 H2 和 CH4 作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法（ HFCVD） 在钛过渡层上合成金刚石薄膜,研究不同钛过渡层厚度对金刚石薄膜质量的影响。 利用 X 射线（ XRD） 、激光拉曼光谱（ Raman） 、扫描电镜（ SEM） 分析薄膜的结构、成分和表面形貌,用能谱仪（ EDS） 对热处理前后样品的表面进行了元素分析。 研究发现,当钛过渡层厚度为 3 μm 时,生成的金刚石薄膜受到较大内应力而发生破裂;当钛过渡层厚度为 25 μm 时,金刚石薄膜质量较好,薄膜受一定内应力,但没有破裂;850 ℃ 左右保温热处理 12 h,铜原子与钛原子发生了扩散。

关键词：金刚石薄膜 钛过渡层 内应力 热丝化学气相沉积 

单位：广州有色金属研究院 广州510651 华南理工大学材料科学与工程学院 广州510640