摘要：采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了 TiAlN 涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度。分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得 TiAlN 涂层的结合强度达到 HF3 。 划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测定结合强度,该法测得在压头曲率半径为 200 μm 的情况下, TiAlN涂层的临界载荷达到 13 N,比传统 TiN 涂层提高了 45% 。

关键词：磁控溅射 tialn涂层 结合强度 

单位：中南大学材料科学与工程学院 长沙410083 中南大学有色金属材料科学与工程教育部重点实验室 长沙410083 长沙神弧离子镀膜有限公司 长沙410030