摘要：采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。 结果表明：低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从（ 111 ） 晶面转变为（ 100 ） 晶面,晶粒尺寸变小, 显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小。

关键词：氮化铜薄膜 射频磁控溅射 微结构 纳米力学 

单位：江苏大学微纳米研究中心 镇江212013 江苏理工学院机械工程学院 常州213001 常州大学低维材料微纳器件与系统中心 常州213164