摘要：目的研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响，准确测试薄膜的厚度。方法分析制备台阶中存在的问题，针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板，并采用该新型掩膜板，在不同衬底上制备台阶，用台阶仪对薄膜的厚度进行测定。结果在薄膜中轴线附近做出的台阶，坡度陡峭。上下表面清晰。Mo衬底上制备出的薄膜厚度重复性较好；单晶硅衬底上制备的薄膜表面粗糙度较大：石英衬底上制备薄膜形成的台阶上下表面均较为平滑。结论使用新型掩膜板在石英衬底上制备出理想台阶．可较为准确地测试薄膜的厚度。

关键词：薄膜 膜厚 边缘效应 理想台阶 粗糙度 

单位：中国工程物理研究院核物理与化学研究所 绵阳621900