摘要：通过阐述XPS测试原理及工作特点，讨论其在材料表面研究中的具体应用。通过光电子谱峰位置、形状和强度，可以分析元素价态、含量。角分辨XPS可以检测超薄样品表面的化学状态，成像XPS可以显示样品表面的元素和价态分布，从而进行微区分析。利用氩离子刻蚀进行深度剖析，可以研究样品化学状态随深度的变化关系。

关键词：x射线光电子能谱 表面分析 材料研究 

单位：北京科技大学钢铁冶金新技术国家重点实验室 北京100083 北京科技大学冶金实验技术中心 北京100083