摘要：目的研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶（V50Al50靶与Si靶）磁控溅射沉积技术，保持V50A150靶的功率为一定值，通过控制Si靶的功率，获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层，分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。结果Si在涂层中以Si3N4 非晶相存在，Si3N4起到细化晶粒的作用，少量Si的掺入可使涂层的硬度与耐磨性能得到提升。但当Si大量掺入后，Si3N4非晶相成为涂层中的主相，导致涂层的硬度与耐磨性能出现下降。结论少量Si的掺入有益于VAlN涂层机械性能的提升。

关键词：valsin硬质涂层 si掺入 机械性能 

单位：中国科学院海洋材料与应用技术重点实验室 浙江宁波315201 浙江省海洋与防护技术重点实验室 浙江宁波315201 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 浙江宁波315201