摘要：目的：研究相同工艺条件下阳极氧化法在不同钛合金基底（TA1,TC4,TC4F136）上生成的TiO2薄膜的力学性能差异。方法采用扫描电镜结合原子力显微镜观察3种薄膜的形貌和结构,用UNHT型纳米压痕仪测试TiO2纳米薄膜的力学性能,利用纳米划痕法测试3种钛合金表面生成的TiO2薄膜与基底的结合强度及摩擦性能,用纳米压痕技术测试TiO2的显微硬度和弹性模量。结果电解液及其它电化学条件相同时,不同钛合金基底上形成的TiO2薄膜结构（管直径、管壁厚及管长度）不同。结论阳极氧化法在钛合金基底上生成的TiO2纳米薄膜的力学性能,由TiO2微观结构及其与基底的结合强度决定,微观结构和结合强度归根到底由合金中元素决定。

关键词：钛合金 tio2 薄膜 力学性能 纳米划痕 

单位：湖南科技大学难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室 湖南湘潭411201 湖南科技大学化学化工学院 湖南湘潭411201