摘要：目的 研究工艺参数与TiO2薄膜的微观结构、光学性质及润湿性的关系。方法 以钛酸四丁酯为原料,乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶浸渍式提拉法,改变工艺参数（提拉次数、提拉速度）,在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜,并通过光学表面形貌仪、紫外可见分光光度计及接触角测试仪分析了不同参数下制备的TiO2薄膜的微观结构、光学性质和润湿性。结果 提拉次数和提拉速度都会影响薄膜的微观结构,提拉2次,提拉速度在3-7 cm/min之间制备的TiO2薄膜表面平整、致密。在提拉方向上,存在厚度梯度,厚度梯度为1 nm/μm。透射光谱显示TiO2薄膜在可见光区透明,吸收边与提拉工艺有关,提拉速度为7 cm/min,提拉2次制备的TiO2薄膜,禁带宽度为3.57 e V,此时,接触角为14.8°。结论 提拉速度、提拉次数影响TiO2薄膜的微观结构、光学性质和润湿性。通过提拉工艺参数的调整,可以制备均匀致密、具有亲水性的半导体TiO2薄膜。

关键词：tio2薄膜 工艺参数 微观结构 光学性质 润湿性 

单位：南昌大学机电工程学院; 南昌330031; 江西科技师范大学江西省材料表面工程重点实验室; 南昌330031