摘要：目的研究不同O2体积浓度下，双管管式炉内不同沉积位置处纳米zn0形貌、产量和发光性质的变化规律。方法采用化学气相沉积法，在双管管式炉的三个不同沉积位置制备了具有不同形貌、产量和性质的纳米ZnO产物。采用扫描电子显微镜（SEM）、X-射线衍射仪（XRD）和荧光分光光度计（PL）等对产物的形貌、结构和光致发光性能进行表征和测试。结果SEM表明02体积浓度较小时，有利于形成针状的多脚结构。02体积浓度较大时，有利于生成棒状的多脚状结构。通过对比沉积产物产量发现，当02体积浓度较低时，沉积反应主要发生在内管外。随着O2体积浓度的增大，沉积产物逐渐向内管内部转移，内管口附近的沉积产物增多。XRD结果表明所有产物均为六方纤锌矿结构，当02体积浓度为0．0625％时，产物沿c轴择优生长。随着02体积浓度的增加，无明显择优取向。PL结果表明，紫外发射峰与绿光发射峰强度的比值随着02体积浓度的增加而增大，说明绿光发射峰主要由氧空位引起，随着02体积浓度的增加，氧空位逐渐减少。结论通过调节O，体积浓度可以制备出不同形貌和发光性质的纳米ZnO,从而应用于不同领域，并且在适当的沉积位置可以获得最大产量。

关键词：化学气相沉积 纳米氧化锌 双管管式炉 产量 光致发光 

单位：唐山学院环境与化学工程系; 河北唐山063000; 中国科学院过程工程研究所; 北京100190